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白光干涉仪怎么使用?使用白光干涉仪过程中的疑问有哪些?

白光干涉仪怎么使用?使用白光干涉仪过程中的疑问有哪些?

1、问:测量到最小尺寸能否达到12ΜM,或者能够测到更小尺寸?答:可以,垂直分辨率是0 1nm,XY分辨率依物镜而有

2022-11-21 14:57:58